Sıcaklık ve Basınç için Kalınlık Kesme Modu Kuvars Rezonatör Sensörlerinin İncelenmesi

Özet—Bu çalışma, sıcaklık algılama ve basınç ölçümü için kalınlık kesme modu rezonatörlerinin kullanımını gözden geçirmektedir.Bu tür sensörlerin avantajları, doğası gereği dijital format, yüksek çözünürlük, yüksek doğruluk ve uzun vadeli kararlılığı içerir.Bu çalışma, alıntılanan sensör performans sonuçlarıyla birlikte cihazların çalışmasına dahil olan fiziksel ilkeleri gözden geçirmektedir.
Piyasada bulunan en eski sıcaklık sensörleri, bağımsız birimlerdi.Kullanımları ve ticari başarıları, kısmen o sırada mevcut olan yardımcı elektroniklere bağlı olarak farklı aşamalardan geçerek gelişti.
Bir dizi sıcaklık algılama uygulaması, diğer kalınlık kesme rezonatör sensörlerine yardımcıdır.İki ana kategori, sıcaklık kompanzasyonu için ayrı rezonatör ve tek kalınlıklı kesme rezonatörünün çift modlu çalışmasıdır.Çift modlu çalışma, farklı kalınlıktaki kesme modu ailelerinden iki modun veya aynı kalınlıktaki kesme modu ailesinden iki modun kullanımına bölünür.
Çeşitli basınç sensörleri, bir kalınlık kesme rezonatörünün frekansının gerilim yanlılığı ile değiştiği gerçeğini kullanır.Bu tür uygulamalar, kullanılan stres yanlılığının modeline bağlı olarak uygun şekilde kategorilere ayrılır.
Dizin Terimleri—Piezoelektrik rezonatörler, basınç ölçümü, kuvars, kuvars rezonatör dönüştürücüler, rezonatörler, sıcaklık ölçümü, dönüştürücüler.